2019년 일본의 소재·부품·장비(소부장) 규제의 핵심 품목 중 하나였던 불화수소가 국산화에 성공한 데에서 나아가 일본 기술을 넘어설 수 있다는 국내 기술 특허가 22일 등록됐다.

일본 정부가 2019년 7월 초고순도 불화수소를 포함한 반도체·디스플레이 소재 3종에 대한 한국 수출규제를 전면 시행한 지 2년여만에 거둔 쾌거다.

일반적으로 초고순도 불화수소는 99.9999％(6N) 이상의 순도인 기체를 의미한다. 램테크놀러지가 개발, 생산한 초고순도 불화수소는 1000조분의 1(10의 15승) 이하 수준까지 생산된다.

순도 숫자로 표기하면 99.999999999999999%(15N)로 현존하는 초고순도 불화수소 중 가장 순도가 높아 국내기술이 일본 기술을 앞서게 됐다.

반도체나 디스플레이의 식각 및 세정 용도에 쓰이는 초고순도 불산은 순도가 낮을수록 불순물로 인해 반도체·디스플레이 생산 수율을 떨어질 수밖에 없어 중요한 소재로 꼽힌다. 다만 불화수소 순도를 높일수록 정제 비용이 증가하고 생산이 어려워진다.

또 기존 생산 방식이 형석을 증류법, 전기 분해법, 흡착법, 막분리법 등 다양한 정제 공정으로 처리하는 전(前)처리 과정을 거쳐야 했던 것과 달리 이런 처리과정을 건너뛸 수 있어 공정을 간소화하면서 비용도 줄일 수 있다고 설명했다.

램테크놀러지 관계자는 “이번에 새로 특허 등록된 초고순도 불화수소 생산법을 통해 새로운 방식으로 균일한 순도의 액체와 기체 형태의 초고순도 불화수소를 생산할 수 있다”고 설명했다.

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